
發(fā)布時(shí)間:2013.04.27 查看次數(shù):22次
蝕刻技術(shù)屬于感光化學(xué)技術(shù)領(lǐng)域, 是用光刻腐蝕加工薄形精密金屬制品的一種方法。其基本原理是利用化學(xué)感光材料的光敏特性, 在基體金屬基片兩面均勻涂敷感光材料采用光刻方法, 將膠膜板上柵網(wǎng)產(chǎn)顯形狀精確地復(fù)制到金屬基片兩面的感光層掩膜上通過顯影去除未感光部分的掩膜, 將裸露的金屬部分在后續(xù)的加工中與腐蝕液直接噴壓接觸而被蝕除, 最終獲取所需的幾何形狀及高精度尺寸的產(chǎn)品技術(shù)---蝕刻技術(shù)